微机电系统技术基础 (平装) 7508343840

前言 1微机电系统概述 1.1微机电系统技术的基本概念及特点 1.2微机电系统的研究领域 1.3微机电系统采用的材料 1.4主要工艺技术 1.5微机电系统技术的发展 1.6微机电系统的应用前景 参考文献 2微机电系统的材料 2.1概述 2.2硅 2.3陶瓷 2.4金属 2.5凝胶 2.6电流变体(Electro－rheological fluids，ERF) 2.7磁流变体(Magneto－rheological fluids，MRF) 参考文献 3硅集成电路工艺基础 3.1薄膜生长 3.2光刻 3.3薄膜刻蚀 参考文献 4MEMS加工技术 4.1硅的湿法腐蚀 4.2硅的深刻蚀技术 4.3键合与双面光刻技术 4.4集成工艺 4.5其他工艺技术 参考文献 5微机电系统的设计方法学 5.1 MEMS设计概述 5.2 MEMS系统级设计 5.3 MEMS器件级设计 5.4 MEMS工艺设计 5.5版图设计 5.6 IMEE系统及其设计实例 参考文献 6微机电系统的组成 6.1微机械传感器 6.2微驱动器 6.3微能源 参考文献 7微机电系统检测技术 7.1概述 7.2微几何量测量 7.3微机械材料特性检测 参考文献 8微机电系统的应用 8.1微机电系统在医学中的应用 8.2微机电系统在汽车中的应用 8.3微机电系统在信息技术中的应用 8.4微机电系统在军事领域中的应用 参考文献 本书全面系统地介绍了有关微机电系统的基本知识，内容包括：微机电系统概述、微机电系统的材料、硅集成电路工艺基础、MEMS加工技术、微机电系统的设计方法学、微机电系统的组成、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。本书内容丰富，讲解通俗易懂，具有很强的可读性。