金刚石薄膜沉积制备工艺与应用 戴达煌,周克崧 等 著 冶金工业出 9787502427757

配送至
$ $ USD 美元

商品编号: 5976087 类别: 图书 心理学 社会心理学
开本:16开
纸张:胶版纸
包装:平装
是否套装:否
国际标准书号ISBN:9787502427757
所属分类:图书>心理学>社会心理学
商品详情

喜欢的可以直接下单哦
基本信息
书名金刚石薄膜沉积制备工艺与应用

作者戴达煌,周克崧 等 著
出版社:冶金工业出版社
出版日期

字数
页码
版次
装帧:平装
开本开
商品重量
编辑推荐
《金刚石薄膜沉积制备工艺与应用》可供从事材料科学与工程的研究人员,有关的工程技术人员,特别是从事金刚石薄膜的科技工者阅读;也可供材料专业高年级学生、从事金刚石薄膜研究时参考。
内容提要
这是一本较全面地叙述金刚石薄膜沉积制备工艺与应用的书。本书从金刚石薄膜的优异性能和应用前景出发,阐述了各种沉积薄膜的制备方法;论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜声场的动力学因素;较详尽地探讨了能大面积沉积金刚石膜的热丝装置和当今沉积速率的等离子射流装置的一些关键技术和成膜关键技术和成膜工艺;同时介绍了性能接近金刚石膜、易实现产业化、应用前景看好的雷金刚石膜的制备工艺、性能和应用。后展望了金刚石膜未来的发展前景,指出金刚石膜必将成为世纪有影响的功能薄膜材料。
目录
章 概论
金刚石薄膜的优异性能及其应用前景
……
第章 金刚石薄膜沉积的非平衡势力学与形成机理
概述
……
第章 金刚石薄膜沉积生长的动力学因素与动力学方程
金刚石薄膜沉积生长的一些动力学因素
……
第章 高速大面积沉积金刚石薄膜的装置
大面积沉积金刚石薄膜的热丝装置
……
第章 金刚石膜沉积工艺
金刚石膜的主要沉积方法和成膜生长概述
……
第章 类金刚石薄膜(膜)
膜的概述与表征
……
第章 结语与展望
金刚石膜进展概况
……
作者介绍

序言