| 开本：16开 |
| 纸张：胶版纸 |
| 包装：平装-胶订 |
| 是否套装：否 |
| 国际标准书号ISBN：9787308066174 |
| 所属分类：图书>工业技术>电子通信>半导体技术 |
商品详情
基本信息
书名：半导体薄膜技术与物理
作者：叶志镇 编著
出版社：浙江大学出版社
出版日期
定
字数
页码
版次
装帧：平装胶订
开本开
商品重量
注意：以上信息来源于网络，仅供参考！！！内容简介
本书共分十章，以叶志镇教授“半导体薄膜技术物理”讲义为基础编撰而成。章叙述了真空技术的基本知识；第二章至第八章是本书的核心内容，结合各种半导体材料，详细介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相沉积和湿化学合成等半导体薄膜技术与物理；第九章介绍了超晶格的相关知识，超晶格、量子阱是现代新型半导体器件的基础和关键；第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术，包括发光二极管、薄膜晶体管和紫外探测器。
目 录
章 真空技术
§ 真空的基本概念
真空的定义
真空度单位
真空区域划分
§ 真空的获得
§ 真空度测量
热传导真空计
热阴极电离真空计
冷阴极电离真空计
§ 真空度对薄膜工艺的影响
参考文献
第章 蒸发技术
§ 发展历史与简介章 真空技术
§ 真空的基本概念
真空的定义
真空度单位
真空区域划分
§ 真空的获得
§ 真空度测量
热传导真空计
热阴极电离真空计
冷阴极电离真空计
§ 真空度对薄膜工艺的影响
参考文献
第章 蒸发技术
§ 发展历史与简介
§ 蒸发的种类
电阻热蒸发
电子束蒸发
高频感应蒸发
激光束蒸发
反应蒸发
§ 蒸发的应用实例
（，）薄膜
薄膜
参考文献
第章 溅射技术
§ 溅射基本原理
§ 溅射主要参数
溅射闽和溅射产额
溅射粒子的能量和速度
溅射速率和淀积速率
§ 溅射装置及工艺
阴极溅射
三极溅射和四极溅射
射频溅射
磁控溅射
反应溅射
§ 离子成膜技术
离子镀成膜
离子束成膜
§ 溅射技术的应用
溅射生长过程
溅射生长薄膜的性能
参考文献
第章 化学气相沉积
§ 概述
§ 硅化学气相沉积
反应类型
热力学分析
动力学分析
不同硅源的外延生长
成核
掺杂
外延层质量
生长工艺
§ 技术的种类
常压
低压
超高真空
……
第章 脉冲激光沉积
第章 分子束外延
第章 液相外延
第章 湿化学制备方法
第章 半导体超晶格和量子阱
章 半导体器件制备技术
参考文献
显示全部信息
作者简介
叶志镇，男，年月生于浙江温州。年获浙江大学光仪系工学博士学位；毕业后留校工作，～年留学美国麻省理工学院（）；年晋升为教授；年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 年进入浙江大学材料
基本信息
书名：半导体薄膜技术与物理
作者：叶志镇 编著
出版社：浙江大学出版社
出版日期
定
字数
页码
版次
装帧：平装胶订
开本开
商品重量
注意：以上信息来源于网络，仅供参考！！！内容简介
本书共分十章，以叶志镇教授“半导体薄膜技术物理”讲义为基础编撰而成。章叙述了真空技术的基本知识；第二章至第八章是本书的核心内容，结合各种半导体材料，详细介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相沉积和湿化学合成等半导体薄膜技术与物理；第九章介绍了超晶格的相关知识，超晶格、量子阱是现代新型半导体器件的基础和关键；第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术，包括发光二极管、薄膜晶体管和紫外探测器。
目 录
章 真空技术
§ 真空的基本概念
真空的定义
真空度单位
真空区域划分
§ 真空的获得
§ 真空度测量
热传导真空计
热阴极电离真空计
冷阴极电离真空计
§ 真空度对薄膜工艺的影响
参考文献
第章 蒸发技术
§ 发展历史与简介章 真空技术
§ 真空的基本概念
真空的定义
真空度单位
真空区域划分
§ 真空的获得
§ 真空度测量
热传导真空计
热阴极电离真空计
冷阴极电离真空计
§ 真空度对薄膜工艺的影响
参考文献
第章 蒸发技术
§ 发展历史与简介
§ 蒸发的种类
电阻热蒸发
电子束蒸发
高频感应蒸发
激光束蒸发
反应蒸发
§ 蒸发的应用实例
（，）薄膜
薄膜
参考文献
第章 溅射技术
§ 溅射基本原理
§ 溅射主要参数
溅射闽和溅射产额
溅射粒子的能量和速度
溅射速率和淀积速率
§ 溅射装置及工艺
阴极溅射
三极溅射和四极溅射
射频溅射
磁控溅射
反应溅射
§ 离子成膜技术
离子镀成膜
离子束成膜
§ 溅射技术的应用
溅射生长过程
溅射生长薄膜的性能
参考文献
第章 化学气相沉积
§ 概述
§ 硅化学气相沉积
反应类型
热力学分析
动力学分析
不同硅源的外延生长
成核
掺杂
外延层质量
生长工艺
§ 技术的种类
常压
低压
超高真空
……
第章 脉冲激光沉积
第章 分子束外延
第章 液相外延
第章 湿化学制备方法
第章 半导体超晶格和量子阱
章 半导体器件制备技术
参考文献
显示全部信息
作者简介
叶志镇，男，年月生于浙江温州。年获浙江大学光仪系工学博士学位；毕业后留校工作，～年留学美国麻省理工学院（）；年晋升为教授；年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 年进入浙江大学材料