| 开本：16开 |
| 纸张：胶版纸 |
| 包装：平装-胶订 |
| 是否套装：否 |
| 国际标准书号ISBN：9787030724892 |
| 所属分类：图书>自然科学>总论 |
商品详情
编码书名高温 传感器的热电 性 定 出版单位科学出版社 出版时间年月 著者（澳）丁东安（ ）（澳）阮南中（ ）（澳）陶宗越（ ） 编者译者兴华等 页数开本
目 录
目录
第章 及热电 性简介
背景
生长
热电 性
高温传感器
参考文献
第章 热电 性基础
热阻效应
半导体材料的物理参数与基本概念
单晶碳化硅
多晶破化硅
非晶碳化硅 目录
第章 及热电 性简介
背景
生长
热电 性
高温传感器
参考文献
第章 热电 性基础
热阻效应
半导体材料的物理参数与基本概念
单晶碳化硅
多晶破化硅
非晶碳化硅
热电子效应
热电容效应
热电效应
高温下热电 性的研究现状
热电效应的试验装置
单层的热阻效应
多层的热电效应
结
高温下其他热电 性
热电效应
热电容效应
参考文献
第章 高温传感器的理想性能
灵敏度
线性度
热响应时间
低功耗
稳定性和其他性能
参考文献
第章 传感器的制备
生长与掺杂
的生长
掺杂
刻蚀
电化学刻蚀
化学刻蚀
干法刻蚀或反应离子刻蚀
的欧姆接触和肖 基接触
欧姆接触
肖 基接触
传感器的 工艺
表面微加工工艺
体微加工工艺
集成冷却系统的器件的制备
参考文献
第章 设计和工艺对热器件性能的影响
衬底影响
掺杂影响
表面形貌
沉积温度
几何与尺寸
参考文献
第章 热电 性的应用
温度传感器、温度控制补偿与热测量
热电阻
～结温度传感器
热阻传感器
热线及热膜式流量传感器
量热式流量传感器
飞行时间流量传感器
对流加速度计与陀螺仪
对流加速度计
对流陀螺仪
其他应用
易燃气体传感器
集成加热、感知和微流控冷却的
参考文献
第章 热电传感器展望
缘体上薄膜
热电器件与其他材料的集成
热驱动器
传感器的发展与挑战
参考文献
显示全部信息
编码书名高温 传感器的热电 性 定 出版单位科学出版社 出版时间年月 著者（澳）丁东安（ ）（澳）阮南中（ ）（澳）陶宗越（ ） 编者译者兴华等 页数开本
目 录
目录
第章 及热电 性简介
背景
生长
热电 性
高温传感器
参考文献
第章 热电 性基础
热阻效应
半导体材料的物理参数与基本概念
单晶碳化硅
多晶破化硅
非晶碳化硅 目录
第章 及热电 性简介
背景
生长
热电 性
高温传感器
参考文献
第章 热电 性基础
热阻效应
半导体材料的物理参数与基本概念
单晶碳化硅
多晶破化硅
非晶碳化硅
热电子效应
热电容效应
热电效应
高温下热电 性的研究现状
热电效应的试验装置
单层的热阻效应
多层的热电效应
结
高温下其他热电 性
热电效应
热电容效应
参考文献
第章 高温传感器的理想性能
灵敏度
线性度
热响应时间
低功耗
稳定性和其他性能
参考文献
第章 传感器的制备
生长与掺杂
的生长
掺杂
刻蚀
电化学刻蚀
化学刻蚀
干法刻蚀或反应离子刻蚀
的欧姆接触和肖 基接触
欧姆接触
肖 基接触
传感器的 工艺
表面微加工工艺
体微加工工艺
集成冷却系统的器件的制备
参考文献
第章 设计和工艺对热器件性能的影响
衬底影响
掺杂影响
表面形貌
沉积温度
几何与尺寸
参考文献
第章 热电 性的应用
温度传感器、温度控制补偿与热测量
热电阻
～结温度传感器
热阻传感器
热线及热膜式流量传感器
量热式流量传感器
飞行时间流量传感器
对流加速度计与陀螺仪
对流加速度计
对流陀螺仪
其他应用
易燃气体传感器
集成加热、感知和微流控冷却的
参考文献
第章 热电传感器展望
缘体上薄膜
热电器件与其他材料的集成
热驱动器
传感器的发展与挑战
参考文献
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