| 开本：16开 |
| 纸张：胶版纸 |
| 包装：平装-胶订 |
| 是否套装：否 |
| 国际标准书号ISBN：9787561276761 |
| 所属分类：图书>医学>其他医学读物 |
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《微机电系统（第版 微机电系统工程系列教材）》是在对研究生教材《微机械与微细加工技术》的基础上，结合微机电系统（）领域新的研究成果编著而成的。全书分为章，分别介绍了发展历程，理论基础，基本工艺技术，设计技术，以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，该书结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。
《微机电系统（第版 微机电系统工程系列教材）》可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统相关课程的教材，也可供工程技术等专业人员参考。
目 录
第章 绪论
． 微机电系统的定义
． 微机电系统的发展历程
． 微机电系统的主要研究内容
．． 基础理论研究
．． 支撑技术研究
．． 应用技术研究
． 微机电系统的国内外研究及产业化现状
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统理论基础
． 尺度效应
．． 尺度效应对材料性能的影响第章 绪论
． 微机电系统的定义
． 微机电系统的发展历程
． 微机电系统的主要研究内容
．． 基础理论研究
．． 支撑技术研究
．． 应用技术研究
． 微机电系统的国内外研究及产业化现状
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统理论基础
． 尺度效应
．． 尺度效应对材料性能的影响
．． 尺度效应对黏附特性的影响
．． 尺度效应对静电特性的影响
．． 尺度效应对流体系统的影响
．． 尺度效应对电学特性的影响
．． 尺度效应对热传导的影响
． 材料基础
．． 硅材料
．． 硅化合物
．． 压电材料
．． 形状记忆合金
．． 超磁致伸缩材料
．． 电流变体与磁流变体
．． 有机聚合物材料
．． 纸基材料
． 力学基础
．． 微梁
．． 压膜阻尼
．． 滑膜阻尼
．． 质量块弹簧阻尼系统
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统设计
． 集成设计
．． 系统级设计
．． 器件级设计
．． 工艺级设计
．． 典型器件设计实例
． 版图设计
．． 光刻掩膜版及其制备
．． 版图设计工具
．． 版图总体设计
．． 对准标记设计
．． 覆盖关系设计
．． 版图绘制技巧
习题与思考题
第章 微机电系统制造基本工艺
． 引言
． 光刻
．． 光刻基本原理
．． 制版
．． 脱水烘
．． 涂胶
．． 软烘
．． 对准
．． 曝光
．． 中烘
．． 显影
．． 坚膜
．． 镜检
．． 去胶
． 湿法腐蚀
．． 硅的各向同性湿法腐蚀
．． 硅的各向异性湿法腐蚀
．． 二氧化硅的湿法腐蚀
．． 氮化硅的湿法腐蚀
．． 铝的湿法腐蚀
．． 其他材料的湿法腐蚀
． 干法刻蚀
．． 等离子基础
．． 等离子体的产生
．． 溅射刻蚀
．． 等离子刻蚀
．． 反应离子刻蚀
．． 深度反应离子刻蚀
． 氧化
．． 氧化设备
．． 氧化模型
． 掺杂
．． 热扩散掺杂
．． 离子注入掺杂
． 化学气相沉积
．． 低压化学气相沉积
．． 等离子增强化学气相沉积：
．． 金属有机化学气相沉积
．． 原子层沉积
． 物理气相沉积
．． 真空蒸镀
．． 溅射镀膜
． 剥离
．． 单层胶氯苯处理法
．． 双层胶法
．． 图形反转胶法
．． 其他方法
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统测试
． 引言
． 工艺参数测试
．． 方块电阻测试
．． 结深测量
．． 透明薄膜的厚度测量
．． 台阶测量
．． 扫描电子显微镜测量
．． 原子力仪测量
．． 残余应力测量
． 器件性能测试
．． 激光多普勒测量
．． 频闪显微干涉测量
习题与思考题
参考文献
第章 典型微机电器件及系统
． 引言
． 微传感器
．． 微加速度计
．． 微机械陀螺
．． 微压力传感器
．． 微麦克风
．． 微气体传感器
．． 微流量传感器
．． 微触觉传感器
．． 微红外探测器
．． 剪应力传感器
． 微执行器
．． 微变形镜
．． 微光学滤波器
．． 微泵
．． 微马达
．． 微谐振器
．． 微喷
．． 微夹钳
．． 射频开关
．． 可编程光栅
．． 微继电器
． 微能源装置
．． 微型电池技术
．． 微能源收集技术
． 典型微系统
．． 微型飞行器
．． 惯性测量微系统
．． 微光学系统
．． 仿生微纳功能表面蒙皮系统
．． 生物医学微系统
习题与思考题
参考文献
显示全部信息
商品详情
微机电系统（第版微机电系统工程系列教材）
作者 苑伟政、乔大勇、虞益挺 著
出版社 西北工业大学出版社
出版日期
字数
页码
版次
装帧 平装
开本 开
商品重量
编辑推荐
《微机电系统（第版 微机电系统工程系列教材）》是在对研究生教材《微机械与微细加工技术》的基础上，结合微机电系统（）领域新的研究成果编著而成的。全书分为章，分别介绍了发展历程，理论基础，基本工艺技术，设计技术，以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，该书结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。
《微机电系统（第版 微机电系统工程系列教材）》可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统相关课程的教材，也可供工程技术等专业人员参考。
目 录
第章 绪论
． 微机电系统的定义
． 微机电系统的发展历程
． 微机电系统的主要研究内容
．． 基础理论研究
．． 支撑技术研究
．． 应用技术研究
． 微机电系统的国内外研究及产业化现状
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统理论基础
． 尺度效应
．． 尺度效应对材料性能的影响第章 绪论
． 微机电系统的定义
． 微机电系统的发展历程
． 微机电系统的主要研究内容
．． 基础理论研究
．． 支撑技术研究
．． 应用技术研究
． 微机电系统的国内外研究及产业化现状
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统理论基础
． 尺度效应
．． 尺度效应对材料性能的影响
．． 尺度效应对黏附特性的影响
．． 尺度效应对静电特性的影响
．． 尺度效应对流体系统的影响
．． 尺度效应对电学特性的影响
．． 尺度效应对热传导的影响
． 材料基础
．． 硅材料
．． 硅化合物
．． 压电材料
．． 形状记忆合金
．． 超磁致伸缩材料
．． 电流变体与磁流变体
．． 有机聚合物材料
．． 纸基材料
． 力学基础
．． 微梁
．． 压膜阻尼
．． 滑膜阻尼
．． 质量块弹簧阻尼系统
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统设计
． 集成设计
．． 系统级设计
．． 器件级设计
．． 工艺级设计
．． 典型器件设计实例
． 版图设计
．． 光刻掩膜版及其制备
．． 版图设计工具
．． 版图总体设计
．． 对准标记设计
．． 覆盖关系设计
．． 版图绘制技巧
习题与思考题
第章 微机电系统制造基本工艺
． 引言
． 光刻
．． 光刻基本原理
．． 制版
．． 脱水烘
．． 涂胶
．． 软烘
．． 对准
．． 曝光
．． 中烘
．． 显影
．． 坚膜
．． 镜检
．． 去胶
． 湿法腐蚀
．． 硅的各向同性湿法腐蚀
．． 硅的各向异性湿法腐蚀
．． 二氧化硅的湿法腐蚀
．． 氮化硅的湿法腐蚀
．． 铝的湿法腐蚀
．． 其他材料的湿法腐蚀
． 干法刻蚀
．． 等离子基础
．． 等离子体的产生
．． 溅射刻蚀
．． 等离子刻蚀
．． 反应离子刻蚀
．． 深度反应离子刻蚀
． 氧化
．． 氧化设备
．． 氧化模型
． 掺杂
．． 热扩散掺杂
．． 离子注入掺杂
． 化学气相沉积
．． 低压化学气相沉积
．． 等离子增强化学气相沉积：
．． 金属有机化学气相沉积
．． 原子层沉积
． 物理气相沉积
．． 真空蒸镀
．． 溅射镀膜
． 剥离
．． 单层胶氯苯处理法
．． 双层胶法
．． 图形反转胶法
．． 其他方法
习题与思考题
参考文献
第章 微机电系统测试
． 引言
． 工艺参数测试
．． 方块电阻测试
．． 结深测量
．． 透明薄膜的厚度测量
．． 台阶测量
．． 扫描电子显微镜测量
．． 原子力仪测量
．． 残余应力测量
． 器件性能测试
．． 激光多普勒测量
．． 频闪显微干涉测量
习题与思考题
参考文献
第章 典型微机电器件及系统
． 引言
． 微传感器
．． 微加速度计
．． 微机械陀螺
．． 微压力传感器
．． 微麦克风
．． 微气体传感器
．． 微流量传感器
．． 微触觉传感器
．． 微红外探测器
．． 剪应力传感器
． 微执行器
．． 微变形镜
．． 微光学滤波器
．． 微泵
．． 微马达
．． 微谐振器
．． 微喷
．． 微夹钳
．． 射频开关
．． 可编程光栅
．． 微继电器
． 微能源装置
．． 微型电池技术
．． 微能源收集技术
． 典型微系统
．． 微型飞行器
．． 惯性测量微系统
．． 微光学系统
．． 仿生微纳功能表面蒙皮系统
．． 生物医学微系统
习题与思考题
参考文献
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商品详情
微机电系统（第版微机电系统工程系列教材）
作者 苑伟政、乔大勇、虞益挺 著
出版社 西北工业大学出版社
出版日期
字数
页码
版次
装帧 平装
开本 开
商品重量