| 开本：3开 |
| 纸张：胶版纸 |
| 包装：平装 |
| 是否套装：否 |
| 国际标准书号ISBN：9787302712497 |
| 所属分类：图书>青春文学>影视写真青春文学 |
商品详情
书名 工业等离子体原理与应用
出版社 清华大学出版社
出版日期
号
本书以低温等离子体技术为切入点，结合作者多年来的研究进展，介绍了等离子体的基本特性、工作原理、产生方法，及其在功能薄膜制备、材料改性、集成电路制造等工业领域的应用。全书共章，内容包括电荷在电磁场中的运动、电子源与电子束、等离子体的特性及其应用、暗放电、直流辉光放电和直流电弧放电、射频等离子体、微波等离子体原理及应用等。
赵洪阳年于山东大学获得博士学位，之后在日本国立材料研究所分别担任日本学术振兴会特别研究员、客座研究员、研究顾问，年入职中科院上海硅酸盐研究所（所百人计划），年入职武汉工程大学（湖北省相关人才计划、工大学者）。承担基金委重大研究计划、自然科学基金、湖北省自然科学基金等项目，发表论文余篇，参与编写上海辞书出版社《大辞海》。获得校“巾帼十佳”、“先进工作者”、“导师”、“十佳师德标兵”等。
本书共八章，从等离子体的基本现象引入，突出一个“趣”，然后阐述本书中用到的一些基本理论，包括电磁场、电子源等，随后重点讲述等离子体的定义、等离子体判据、重要参数和概念，全方位介绍低温等离子体。剩下的半本书的篇幅介绍等离子体发生器，即气体放电原理，并在原理后面加上现代科研或产业的实际应用，是一套逻辑性完整的具有产学研用共功能的教材。
目录
第章引言
你见过等离子体吗
等离子体的定义
等离子体的分类
按照温度分类
按照电离程度分类
按照粒子密度分类
等离子体分类的其他标准
等离子体的产生方法
等离子体产生方法的分类
选择等离子体产生方法的关键因素
等离子体的研究进展
等离子体的发展简史
等离子体的研究现状
第章电荷在电场和磁场中的运动
带电粒子在电场中的运动
电荷在匀强电场中的运动
电荷在非匀强电场中的运动
带电粒子在磁场中的运动
带电粒子在均匀恒定磁场中的运动
电荷在变化磁场中的运动
带电粒子在恒定电磁场中的运动
电磁交叉场粒子动力学
交叉场漂移速度
磁电加热
磁控溅射原理
带电粒子在缓变电磁场中的运动
第章电子源和电子束
电子源
热电子发射源
场致电子发射源
光电子发射源
二次电子发射源
电子源和电子束的特性
电子束参数
电子源的技术指标
电子束的偏转
电子束的准直与聚焦
电子束的应用
电子束加工
电子束蒸发镀膜
电子束增材制造
扫描电子显微镜和透射电子显微镜
电子束放射治疗
检疫处理
第章等离子体的特性及其应用
等离子体的基本参量
等离子体鞘层
等离子体鞘层的含义
德拜与德拜长度
等离子体的准中性
等离子体的频率
等离子体频率的定义
等离子体响应时间
入射频率与电子等离子体频率的关系
电子碰撞频率
低压放电
低压放电管
电压电流特性
等离子体电源
射频电源的优点
射频电源的国内外发展现状
低温等离子体诊断
等离子体的应用
等离子体刻蚀
等离子体力器
第章暗放电
气体分子运动论
引言
常用单位与公式
分子函数及平均量
粒子间的碰撞
等离子体光谱的产生机理
气体放电
气体放电的定义
气体放电的基本理论
气体放电的形式和现象
气体放电伴随的效应及其应用
低气压气体放电
本底电离区和饱和区
本底电离区
饱和区
汤森放电
电流增长过程
汤森电离系数
暗放电的平行平板结构
电晕放电
电晕产生机理
极不均匀电场中的放电过程
电晕的应用
电晕的危害
消除电晕的措施
电击穿
二次电子发射系数
汤森判据
帕邢定律
影响气体击穿电压的主要因素
第章直流辉光放电等离子体和直流电弧放电等离子体及应用
直流辉光放电等离子体
低气压直流辉光放电
正常辉光放电区
阴极区的汤森理论
非磁化等离子体
直流辉光放电等离子体源
直流辉光放电的应用
直流电弧放电等离子体
电弧工作区
电弧现象学
电弧中的物理过程
电弧的引燃机制
电弧放电的应用
第章射频等离子体原理及应用
射频等离子体概述
感性耦合等离子体放电
电子等离子体频率
临界密度
电导率和能量转换频率
等离子体的趋肤深度
假设的初始条件
传播常数
趋肤深度
射频等离子体中的电场
容性耦合等离子体放电
容性耦合等离子体放电的理论模型
容性耦合等离子体中的电子加热机制
磁化等离子体放电
射频等离子体的应用
射频溅射镀膜
射频等离子体刻蚀
等离子体增强化学气相沉积
等离子体清洗及其在半导体先进封装中的应用
等离子体炬的应用
第章微波等离子体原理及应用
微波电磁场
麦克斯韦方程和边界条件
磁控管
微波装置传
书名 工业等离子体原理与应用
出版社 清华大学出版社
出版日期
号
本书以低温等离子体技术为切入点，结合作者多年来的研究进展，介绍了等离子体的基本特性、工作原理、产生方法，及其在功能薄膜制备、材料改性、集成电路制造等工业领域的应用。全书共章，内容包括电荷在电磁场中的运动、电子源与电子束、等离子体的特性及其应用、暗放电、直流辉光放电和直流电弧放电、射频等离子体、微波等离子体原理及应用等。
赵洪阳年于山东大学获得博士学位，之后在日本国立材料研究所分别担任日本学术振兴会特别研究员、客座研究员、研究顾问，年入职中科院上海硅酸盐研究所（所百人计划），年入职武汉工程大学（湖北省相关人才计划、工大学者）。承担基金委重大研究计划、自然科学基金、湖北省自然科学基金等项目，发表论文余篇，参与编写上海辞书出版社《大辞海》。获得校“巾帼十佳”、“先进工作者”、“导师”、“十佳师德标兵”等。
本书共八章，从等离子体的基本现象引入，突出一个“趣”，然后阐述本书中用到的一些基本理论，包括电磁场、电子源等，随后重点讲述等离子体的定义、等离子体判据、重要参数和概念，全方位介绍低温等离子体。剩下的半本书的篇幅介绍等离子体发生器，即气体放电原理，并在原理后面加上现代科研或产业的实际应用，是一套逻辑性完整的具有产学研用共功能的教材。
目录
第章引言
你见过等离子体吗
等离子体的定义
等离子体的分类
按照温度分类
按照电离程度分类
按照粒子密度分类
等离子体分类的其他标准
等离子体的产生方法
等离子体产生方法的分类
选择等离子体产生方法的关键因素
等离子体的研究进展
等离子体的发展简史
等离子体的研究现状
第章电荷在电场和磁场中的运动
带电粒子在电场中的运动
电荷在匀强电场中的运动
电荷在非匀强电场中的运动
带电粒子在磁场中的运动
带电粒子在均匀恒定磁场中的运动
电荷在变化磁场中的运动
带电粒子在恒定电磁场中的运动
电磁交叉场粒子动力学
交叉场漂移速度
磁电加热
磁控溅射原理
带电粒子在缓变电磁场中的运动
第章电子源和电子束
电子源
热电子发射源
场致电子发射源
光电子发射源
二次电子发射源
电子源和电子束的特性
电子束参数
电子源的技术指标
电子束的偏转
电子束的准直与聚焦
电子束的应用
电子束加工
电子束蒸发镀膜
电子束增材制造
扫描电子显微镜和透射电子显微镜
电子束放射治疗
检疫处理
第章等离子体的特性及其应用
等离子体的基本参量
等离子体鞘层
等离子体鞘层的含义
德拜与德拜长度
等离子体的准中性
等离子体的频率
等离子体频率的定义
等离子体响应时间
入射频率与电子等离子体频率的关系
电子碰撞频率
低压放电
低压放电管
电压电流特性
等离子体电源
射频电源的优点
射频电源的国内外发展现状
低温等离子体诊断
等离子体的应用
等离子体刻蚀
等离子体力器
第章暗放电
气体分子运动论
引言
常用单位与公式
分子函数及平均量
粒子间的碰撞
等离子体光谱的产生机理
气体放电
气体放电的定义
气体放电的基本理论
气体放电的形式和现象
气体放电伴随的效应及其应用
低气压气体放电
本底电离区和饱和区
本底电离区
饱和区
汤森放电
电流增长过程
汤森电离系数
暗放电的平行平板结构
电晕放电
电晕产生机理
极不均匀电场中的放电过程
电晕的应用
电晕的危害
消除电晕的措施
电击穿
二次电子发射系数
汤森判据
帕邢定律
影响气体击穿电压的主要因素
第章直流辉光放电等离子体和直流电弧放电等离子体及应用
直流辉光放电等离子体
低气压直流辉光放电
正常辉光放电区
阴极区的汤森理论
非磁化等离子体
直流辉光放电等离子体源
直流辉光放电的应用
直流电弧放电等离子体
电弧工作区
电弧现象学
电弧中的物理过程
电弧的引燃机制
电弧放电的应用
第章射频等离子体原理及应用
射频等离子体概述
感性耦合等离子体放电
电子等离子体频率
临界密度
电导率和能量转换频率
等离子体的趋肤深度
假设的初始条件
传播常数
趋肤深度
射频等离子体中的电场
容性耦合等离子体放电
容性耦合等离子体放电的理论模型
容性耦合等离子体中的电子加热机制
磁化等离子体放电
射频等离子体的应用
射频溅射镀膜
射频等离子体刻蚀
等离子体增强化学气相沉积
等离子体清洗及其在半导体先进封装中的应用
等离子体炬的应用
第章微波等离子体原理及应用
微波电磁场
麦克斯韦方程和边界条件
磁控管
微波装置传