| 开本：16开 |
| 纸张：胶版纸 |
| 包装：精装 |
| 是否套装：否 |
| 国际标准书号ISBN：9787577228877 |
| 所属分类：图书>工业技术>一般工业技术 |
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编辑推荐
丛书聘请尤政院士担任总主编，缪向水教授担任执行主编，主编对该丛书顶层设计指导，按模块遴选邀约相关学者组建编委会，各模块编委推荐相关学者团队参与撰写，开展交叉审纲、审稿工作。本书主要面向高等院校集成电路专业师生及集成电路制造产业的专业人才，选题以我国被“卡脖子”领域为主，拟邀请国内集成电路领域的知名专家共同参与编写，主要内容以科研成果为主，理论与实践相结合，并运用相关案例，介绍近期新技术和产品的应用，每个分册围绕一个主题，各分册之间既相互联系又自成体系。
内容简介
本书系统阐述了基于扫描探针显微镜技术的大范围纳米制备与表征技术的近期新研究进展，重点围绕跨尺度高性能纳米柔性运动台的设计与应用展开。首先，提出了一种无寄生旋转的柔性运动台设计方法，并通过力学建模、仿真与实验验证，实现了兼具毫米级行程与纳米级精度的运动台。其次，介绍了作者所研发的大范围、无拼接的扫描探针纳米表征系统，该系统显著提升了扫描效率，使连续表征幅面扩大至传统系统的百倍以上。再次，本书提出了大范围、无拼接的扫描探针纳米直写制备系统，该系统结合压电扫描器与运动台协同控制，实现了高速、高通量的纳米结构制备。最后，介绍了作者所开展的纳米直写工艺的实验研究，提出了统一的纳米制备结果评估体系，为纳米制备过程的智能化与高效化提供了理论与实践依据。
本书内容涵盖纳米制备装备研发、表征方法创新及工艺优化，既有坚实的理论基础，又经过了丰富的实验验证，适合作为纳米科学与工程、材料科学、精密仪器、微纳制造等领域的科研人员与研究生，以及从事相关产业技术开发与应用的人员的参考书。
作者简介
张震，清华大学机械系研究员，博士生导师，精密光机电系统设计与控制实验室主任。主持承担国家自然基金、省重点研发计划、产业界项目等二十余项，发表高水平论文余篇获中国机械工业联合会科学技术发明二等奖、 杰出学术贡献奖、 杰出贡献奖、并多次获著名国际会议很好论文奖。
目 录
第章 绪论
研究背景
相关领域研究现状综述
柔性运动系统设计与控制
用于大范围纳米制备与表征的系统
扫描探针纳米直写制备工艺
研究意义与研究内容
意义与问题提炼
研究内容与研究框架
第章 纳米柔性运动系统设计与实现
柔性板簧机构的力学建模
柔性板簧的力学建模
平行四边形柔性机构的力学建模
双平行四边形柔性机构的力学建模 第章 绪论 研究背景 相关领域研究现状综述 柔性运动系统设计与控制 用于大范围纳米制备与表征的系统 扫描探针纳米直写制备工艺 研究意义与研究内容 意义与问题提炼 研究内容与研究框架 第章 纳米柔性运动系统设计与实现 柔性板簧机构的力学建模 柔性板簧的力学建模 平行四边形柔性机构的力学建模 双平行四边形柔性机构的力学建模 无寄生旋转运动的柔性运动台设计方法 柔性机构寄生旋转运动产生机理 基于恒刚度方法的纳米柔性运动台设计方案 基于自抗扭转方法的纳米柔性运动台设计方案 基于恒刚度方法的纳米柔性运动台设计与实现 基于恒刚度方法的纳米柔性运动台设计方案 柔性运动台的力学建模 柔性运动台的优化设计 柔性运动台理论模型的数值分析 柔性运动台的有限元分析 原型系统搭建与实验 ……
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商品详情
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丛书聘请尤政院士担任总主编，缪向水教授担任执行主编，主编对该丛书顶层设计指导，按模块遴选邀约相关学者组建编委会，各模块编委推荐相关学者团队参与撰写，开展交叉审纲、审稿工作。本书主要面向高等院校集成电路专业师生及集成电路制造产业的专业人才，选题以我国被“卡脖子”领域为主，拟邀请国内集成电路领域的知名专家共同参与编写，主要内容以科研成果为主，理论与实践相结合，并运用相关案例，介绍近期新技术和产品的应用，每个分册围绕一个主题，各分册之间既相互联系又自成体系。
内容简介
本书系统阐述了基于扫描探针显微镜技术的大范围纳米制备与表征技术的近期新研究进展，重点围绕跨尺度高性能纳米柔性运动台的设计与应用展开。首先，提出了一种无寄生旋转的柔性运动台设计方法，并通过力学建模、仿真与实验验证，实现了兼具毫米级行程与纳米级精度的运动台。其次，介绍了作者所研发的大范围、无拼接的扫描探针纳米表征系统，该系统显著提升了扫描效率，使连续表征幅面扩大至传统系统的百倍以上。再次，本书提出了大范围、无拼接的扫描探针纳米直写制备系统，该系统结合压电扫描器与运动台协同控制，实现了高速、高通量的纳米结构制备。最后，介绍了作者所开展的纳米直写工艺的实验研究，提出了统一的纳米制备结果评估体系，为纳米制备过程的智能化与高效化提供了理论与实践依据。
本书内容涵盖纳米制备装备研发、表征方法创新及工艺优化，既有坚实的理论基础，又经过了丰富的实验验证，适合作为纳米科学与工程、材料科学、精密仪器、微纳制造等领域的科研人员与研究生，以及从事相关产业技术开发与应用的人员的参考书。
作者简介
张震，清华大学机械系研究员，博士生导师，精密光机电系统设计与控制实验室主任。主持承担国家自然基金、省重点研发计划、产业界项目等二十余项，发表高水平论文余篇获中国机械工业联合会科学技术发明二等奖、 杰出学术贡献奖、 杰出贡献奖、并多次获著名国际会议很好论文奖。
目 录
第章 绪论
研究背景
相关领域研究现状综述
柔性运动系统设计与控制
用于大范围纳米制备与表征的系统
扫描探针纳米直写制备工艺
研究意义与研究内容
意义与问题提炼
研究内容与研究框架
第章 纳米柔性运动系统设计与实现
柔性板簧机构的力学建模
柔性板簧的力学建模
平行四边形柔性机构的力学建模
双平行四边形柔性机构的力学建模 第章 绪论 研究背景 相关领域研究现状综述 柔性运动系统设计与控制 用于大范围纳米制备与表征的系统 扫描探针纳米直写制备工艺 研究意义与研究内容 意义与问题提炼 研究内容与研究框架 第章 纳米柔性运动系统设计与实现 柔性板簧机构的力学建模 柔性板簧的力学建模 平行四边形柔性机构的力学建模 双平行四边形柔性机构的力学建模 无寄生旋转运动的柔性运动台设计方法 柔性机构寄生旋转运动产生机理 基于恒刚度方法的纳米柔性运动台设计方案 基于自抗扭转方法的纳米柔性运动台设计方案 基于恒刚度方法的纳米柔性运动台设计与实现 基于恒刚度方法的纳米柔性运动台设计方案 柔性运动台的力学建模 柔性运动台的优化设计 柔性运动台理论模型的数值分析 柔性运动台的有限元分析 原型系统搭建与实验 ……
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